Specifikacija | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (pneumatinis bėgelis) |
Variklio tipas | Trifazis begeležis variklis | Balso ritės variklis+ |
Rezoliucija | Numatytasis 100 nm skaitmeninis kiekis | 1vpp iki 5nm |
Variklio trauka | Nepertraukiamas 60N/pikas 210N | Nepertraukiamas 60N/pikas 210N |
Mažiausias žingsnio dydis [nm] | 200 nm | 100 nm |
Kelionės [mm] | 200 × 200 | 10 |
Pakartojamumas [um] | ±0,3 | |
Padėties tikslumas [um] | ±1 | ±0,5 |
Plokštumas [um] | 10 um | 5 um |
Tiesumas [um] | 1 um | 1 um |
Maksimalus greitis [mm/s] | 500 mm/s | 30 mm/s |
Keliamoji galia [kg] | 5 kg (Z ašis su pneumatiniu pastovios jėgos balanso svoriu) |